微機電系統研究的新進展
日本東京大學兩研究小組共同開發出了一種薄膜型無線通信系統,只需將電子設備放在薄膜上,即可在電子設備之間進行通信。其中,置有MEMS開關的開關薄膜是此套系統的重要技術環節。
MEMS(微機電系統)因其體積小,便于多功能集成,適合采用大批量制造工藝而極大地降低成本等特點,向人們展示了廣闊應用前景,在流體中的應用潛力也非常誘人。我國微機電系統研究也有很多先進的成果,成都電子科技大學機械電子工程學院教授丁杰雄的“MEMS中基于多模諧振的超聲波懸浮顆粒分離方法研究”便是其中之一。
丁杰雄教授認為,對含有懸浮顆粒的混合流體而言,懸浮顆粒往往是問題的核心,超聲波能對流體中的懸浮顆粒產生一個平均作用力,該力可用于控制懸浮顆粒的運動而實現顆粒分離。由于MEMS的結構特點,很多宏觀上常用的分離方法受到這樣那樣的限制,而超聲波器件在制造工藝上與MEMS方便兼容,超聲波處理懸浮顆粒的技術有著極大的潛在應用價值,特別是隨著生物技術對人類社會的影響作用不斷加強,其社會效益和經濟價值更是無法估量。在國外提出的利用超聲波多層諧振和層流的MEMS分離方法基礎上,丁杰雄教授結合MEMS結構和工藝特點,研究基于腔體多模諧振的超聲波懸浮顆粒分離方法,包括二維駐波聲場的微諧振腔結構模型、微流體通道和出入口結構的建摸與優化,研制微分離器件并開展分離效果影響因素的實驗研究,具有較高水平。